-
>
���������Ӻ�������`
-
>
�������ʷ
-
>
�ϘO100��
-
>
����(sh��)�W(xu��)���}��1200�}
-
>
ϣ��˹:���ϵ����ӡ��İl(f��)���c�l(f��)�F(xi��n)
-
>
���r(n��ng)�ܯB��ʯ:10���|��ǰ�h(yu��n)�ź������ィ��Ĵ�
-
>
����ʷ
�댧(d��o)�w����W(xu��)(��8��) ���(qu��n)��Ϣ
- ISBN��9787121454141
- �l�δa��9787121454141 ; 978-7-121-45414-1
- �b����ƽ��
- �Ԕ�(sh��)�����o
- ���������o
- ���ٷ��>>
�댧(d��o)�w����W(xu��)(��8��) ������ɫ
��(j��ng)��̲ģ��ṩ���Ľ̌W(xu��)��V������n��PPT�Ƚ̌W(xu��)�YԴ
�댧(d��o)�w����W(xu��)(��8��) ��(n��i)�ݺ���
�����^ȫ���Փ���˰댧(d��o)�w�����Ļ��A(ch��)֪�R��ȫ����13������Ҫ��(n��i)�ݞ飺�댧(d��o)�w�ľ���Y(ji��)��(g��u)����Ӡ�B(t��i)���s�|(zh��)��ȱ���ܼ����d���ӵĽy(t��ng)Ӌ�ֲ����d���ӵ�ɢ�估늌�(d��o)���}����ƽ���d���ӵĮa(ch��n)������(f��)�ϼ����\��Ҏ(gu��)����pn�Y(ji��)�����ٺͰ댧(d��o)�w�Ľ��|���댧(d��o)�w���漰MIS�Y(ji��)��(g��u)���댧(d��o)�w���|(zh��)�Y(ji��)��(g��u)���댧(d��o)�w�Ĺ⡢�����š�����������F(xi��n)��ͷǾ��B(t��i)�댧(d��o)�w�������ṩ���Ľ̌W(xu��)��V������n��PPT�Ƚ̌W(xu��)�YԴ������������ߵȌW(xu��)У�����·�ƌW(xu��)�c���̵����P(gu��n)���I(y��)�W(xu��)���댧(d��o)�w���������P(gu��n)�n�̵Ľ̲ģ�Ҳ�ɹ����P(gu��n)���I(y��)�ĿƼ��ˆT������
�댧(d��o)�w����W(xu��)(��8��) Ŀ�
��1�¡��댧(d��o)�w�е���Ӡ�B(t��i)1
����1.1���댧(d��o)�w�ľ���Y(ji��)��(g��u)�ͽY(ji��)�����|(zh��)1
��������1.1.1������ʯ�ͽY(ji��)��(g��u)���r�I1
��������1.1.2���W�\�V�ͽY(ji��)��(g��u)�ͻ���I2
��������1.1.3���w�\�V�ͽY(ji��)��(g��u)3
����1.2���댧(d��o)�w�е���Ӡ�B(t��i)����4
��������1.2.1��ԭ�ӵ��ܼ��;��w����4
��������1.2.2���댧(d��o)�w����ӵĠ�B(t��i)����6
��������1.2.3����(d��o)�w���댧(d��o)�w���^���w����10
����1.3���댧(d��o)�w����ӵ��\�ӡ�������Ч�|(zh��)��11
��������1.3.1���댧(d��o)�w��E��k���ck���P(gu��n)ϵ��3�� 11
��������1.3.2���댧(d��o)�w����ӵ�ƽ���ٶ�12
��������1.3.3���댧(d��o)�w����ӵļ��ٶ�12
��������1.3.4�����|(zh��)�������x13
����1.4�������댧(d��o)�w�Č�(d��o)늙C��(g��u)��������Ѩ��3�� 14
����1.5�����������4�� 16
��������1.5.1��k���g������16
��������1.5.2����������18
����1.6������N�����Y(ji��)��(g��u)19
��������1.6.1������N��(d��o)���Y(ji��)��(g��u)19
��������1.6.2������N�ăr���Y(ji��)��(g��u)22
����1.7����-���廯����댧(d��o)�w�����Y(ji��)��(g��u)��7�� 24
��������1.7.1���R��㟵����Y(ji��)��(g��u)24
��������1.7.2���黯扵����Y(ji��)��(g��u)��8�� 25
��������1.7.3����扺���㟵����Y(ji��)��(g��u)25
��������1.7.4����Ͼ��w�����Y(ji��)��(g��u)25
������1.8����-���廯����댧(d��o)�w�����Y(ji��)��(g��u)26
����������1.8.1����Ԫ����������Y(ji��)��(g��u)26
����������1.8.2����Ͼ��w�����Y(ji��)��(g��u)27
������1.9��Si1��xGex�Ͻ����27
������1.10���������댧(d��o)�w����29
����������1.10.1��GaN��AlN�ľ���Y(ji��)��(g��u)������18�� 30
����������1.10.2��SiC�ľ���Y(ji��)��(g��u)����32
������(x��)�}35
���������Y��35
��2�¡��댧(d��o)�w���s�|(zh��)��ȱ���ܼ�37
����2.1���衢�N���w�е��s�|(zh��)�ܼ�37
��������2.1.1����λʽ�s�|(zh��)���g϶ʽ�s�|(zh��)37
��������2.1.2��ʩ���s�|(zh��)��ʩ���ܼ�38
��������2.1.3�������s�|(zh��)�������ܼ�39
��������2.1.4���\�ܼ��s�|(zh��)��x�ܵĺ���Ӌ���2��3�� 41
��������2.1.5���s�|(zh��)���a������41
��������2.1.6�����ܼ��s�|(zh��)42
����2.2����-���廯�����е��s�|(zh��)�ܼ�45
������2.3��������������X��̼�����е��s�|(zh��)�ܼ�50
����2.4��ȱ����λ�e�ܼ�52
��������2.4.1���cȱ��52
��������2.4.2��λ�e53
������(x��)�}54
���������Y��55
��3�¡��댧(d��o)�w���d���ӵĽy(t��ng)Ӌ�ֲ�56
����3.1����B(t��i)�ܶȣ�1��2�� 56
��������3.1.1��k���g�����ӑB(t��i)�ķֲ�56
��������3.1.2����B(t��i)�ܶ�57
����3.2���M���ܼ����d���ӵĽy(t��ng)Ӌ�ֲ�59
��������3.2.1���M�ֲ�����(sh��)59
��������3.2.2������Ɲ���ֲ�����(sh��)60
��������3.2.3����(d��o)���е���ӝ�Ⱥ̓r���еĿ�Ѩ���61
��������3.2.4���d���ӝ�ȳ˷en0p0 64
����3.3�������댧(d��o)�w���d���ӝ��64
����3.4���s�|(zh��)�댧(d��o)�w���d���ӝ��67
��������3.4.1���s�|(zh��)�ܼ��ϵ���ӺͿ�Ѩ67
��������3.4.2��n�Ͱ댧(d��o)�w���d���ӝ��68
����3.5��һ����r�µ��d���ӽy(t��ng)Ӌ�ֲ�76
����3.6�������댧(d��o)�w��2��5�� 81
��������3.6.1�������댧(d��o)�w���d���ӝ��81
��������3.6.2���������l��82
��������3.6.3���͜��d���Ӄ���Ч��(y��ng)83
��������3.6.4������׃խЧ��(y��ng)85
������3.7�����ռ��(j��)�s�|(zh��)�ܼ��ĸ��ʣ�2��6��7�� 86
����������3.7.1�����ռ��(j��)�s�|(zh��)�ܼ����ʵ�ӑՓ86
����������3.7.2�����y(t��ng)Ӌ�ֲ�����(sh��)88
������(x��)�}89
���������Y��90
��4�¡��댧(d��o)�w�Č�(d��o)���92
����4.1���d���ӵ�Ư���\�Ӻ��w����92
��������4.1.1���Wķ����92
��������4.1.2��Ư���ٶȺ��w����93
��������4.1.3���댧(d��o)�w��늌�(d��o)�ʺ��w����93
����4.2���d���ӵ�ɢ��94
��������4.2.1���d����ɢ��ĸ���94
��������4.2.2���댧(d��o)�w����Ҫɢ��C��(g��u)��1�� 95
����4.3���w�����c�s�|(zh��)��Ⱥ͜ضȵ��P(gu��n)ϵ102
��������4.3.1��ƽ�����ɕr�g��ɢ����ʵ��P(gu��n)ϵ102
��������4.3.2��늌�(d��o)�����w�����cƽ�����ɕr�g���P(gu��n)ϵ102
��������4.3.3���w�����c�s�|(zh��)�͜ضȵ��P(gu��n)ϵ104
����4.4������ʼ����c�s�|(zh��)��Ⱥ͜ضȵ��P(gu��n)ϵ108
��������4.4.1������ʺ��s�|(zh��)��ȵ��P(gu��n)ϵ108
��������4.4.2��������S�ضȵ�׃��110
������4.5������Ɲ�����̣�11����늌�(d��o)�ʵĽy(t��ng)Ӌ��Փ110
����������4.5.1������Ɲ������111
����������4.5.2����ԥ�r�g����112
����������4.5.3����늈������²���Ɲ�����̵Ľ�113
����������4.5.4�����ε�����댧(d��o)�w��늌�(d��o)��114
����4.6����늈��µ�Ч��(y��ng)��12�������d����115
��������4.6.1���Wķ���ɵ�ƫ�x115
����������4.6.2��ƽ��Ư���ٶ��c늈����ȵ��P(gu��n)ϵ116
������4.7�����ܹ�ɢ��������Ч��(y��ng)120
����������4.7.1�����ܹ�ɢ�䡢�w��(n��i)ؓ(f��)��늌�(d��o)120
����������4.7.2���߈����^(q��)��������ʎ122
������(x��)�}123
���������Y��125
��5�¡���ƽ���d����126
����5.1����ƽ���d���ӵ�ע���c��(f��)��126
����5.2����ƽ���d���ӵĉ���127
����5.3����(zh��n)�M���ܼ�129
����5.4����(f��)����Փ130
��������5.4.1��ֱ�ӏ�(f��)��131
��������5.4.2���g�ӏ�(f��)��132
��������5.4.3�������(f��)��137
��������5.4.4������(f��)��139
����5.5��������(y��ng)141
����5.6���d���ӵĔUɢ�\��143
����5.7���d���ӵ�Ư�ƔUɢ������˹̹�P(gu��n)ϵʽ147
����5.8���B�m(x��)�Է���ʽ149
����5.9������ٔ�(sh��)�d���Ӊ����c�Uɢ�L��153
������(x��)�}154
���������Y��155
��6�¡�pn�Y(ji��)156
����6.1��pn�Y(ji��)�������D156
��������6.1.1��pn�Y(ji��)���γɺ��s�|(zh��)�ֲ���1��3�� 156
��������6.1.2�����g늺Ʌ^(q��)157
��������6.1.3��pn�Y(ji��)���D158
��������6.1.4��pn�Y(ji��)���|늄ݲ�159
��������6.1.5��pn�Y(ji��)���d���ӷֲ�160
����6.2��pn�Y(ji��)���-늉�����161
��������6.2.1����ƽ���B(t��i)�µ�pn�Y(ji��)161
��������6.2.2������pn�Y(ji��)ģ�ͼ������-늉����̣�4�� 164
��������6.2.3��Ӱ�pn�Y(ji��)���-늉�����ƫ�x���뷽�̵ĸ��N���أ�1��2��5�� 167
����6.3��pn�Y(ji��)��ݣ�1��2��6�� 171
��������6.3.1��pn�Y(ji��)��ݵā�Դ171
��������6.3.2��ͻ׃�Y(ji��)�Ą݉����173
��������6.3.3�����Ծ�׃�Y(ji��)�Ą݉����177
��������6.3.4���Uɢ���180
����6.4��pn�Y(ji��)������1��2��8��9�� 181
��������6.4.1��ѩ������181
��������6.4.2�������������R�{��������10�� 181
��������6.4.3����늓���183
����6.5��pn�Y(ji��)������(y��ng)��1��10�� 183
������(x��)�}186
���������Y��186
��7�¡����ٺͰ댧(d��o)�w�Ľ��|187
����7.1�����ٰ댧(d��o)�w���|�����ܼ��D187
��������7.1.1�����ٺͰ댧(d��o)�w�Ĺ�����(sh��)187
��������7.1.2�����|늄ݲ�188
��������7.1.3������B(t��i)�����|�݉���Ӱ�190
����7.2�����ٰ댧(d��o)�w���|������Փ192
��������7.2.1���Uɢ��Փ193
��������7.2.2������Ӱl(f��)����Փ195
��������7.2.3���R����������Ч��(y��ng)��Ӱ�197
��������7.2.4��Ф�ػ��݉����O��199
����7.3���ٔ�(sh��)�d���ӵ�ע��͚Wķ���|200
��������7.3.1���ٔ�(sh��)�d���ӵ�ע��200
��������7.3.2���Wķ���|201
������(x��)�}203
���������Y��203
��8�¡��댧(d��o)�w�����cMIS�Y(ji��)��(g��u)204
����8.1������B(t��i)204
����8.2������늈�Ч��(y��ng)��5��6�� 207
��������8.2.1�����g늺ɌӼ������207
��������8.2.2��������g늺Ɍӵ�늈���늄ݺ����209
����8.3��MIS�Y(ji��)��(g��u)��C-V����216
��������8.3.1������MIS�Y(ji��)��(g��u)��C-V���ԣ�5��7�� 216
��������8.3.2�������c�댧(d��o)�w������(sh��)�MIS�Y(ji��)��(g��u)C-V���Ե�Ӱ푣�5�� 220
��������8.3.3���^������늺Ɍ�MIS�Y(ji��)��(g��u)C-V���Ե�Ӱ푣�7�� 221
����8.4���衪��������ϵ�y(t��ng)�����|(zh��)��7�� 223
��������8.4.1������������еĿɄ��x�ӣ�8�� 223
��������8.4.2������������еĹ̶�����늺ɣ�7�� 225
��������8.4.3���ڹ衪�����������̎�Ŀ����B(t��i)��5�� 226
��������8.4.4������������е���x����늺ɣ�7�� 228
����8.5������늌�(d��o)���w����228
��������8.5.1������늌�(d��o)��1�� 228
��������8.5.2�������d���ӵ���Ч�w����229
������8.6������늈���pn�Y(ji��)���Ե�Ӱ푣�7�� 230
����������8.6.1������늈�������pn�Y(ji��)�����D230
����������8.6.2 ����늈�������pn�Y(ji��)�ķ������232
����������8.6.3������늈���pn�Y(ji��)�������Ե�Ӱ�234
����������8.6.4�����漃��235
������(x��)�}235
���������Y��236
��9�¡��댧(d��o)�w���|(zh��)�Y(ji��)��(g��u)237
����9.1���댧(d��o)�w���|(zh��)�Y(ji��)�������D��7��9�� 237
��������9.1.1���댧(d��o)�w���|(zh��)�Y(ji��)�����D237
����������9.1.2��ͻ׃���ͮ��|(zh��)�Y(ji��)�Ľ��|늄ݲ�݉��^(q��)����243
����������9.1.3��ͻ׃���ͮ��|(zh��)�Y(ji��)�Ą݉���ݣ�4��8�� 245
����������9.1.4��ͻ׃ͬ�ͮ��|(zh��)�Y(ji��)�����ɹ�ʽ246
����9.2���댧(d��o)�w���|(zh��)pn�Y(ji��)�����-늉����Լ�ע������246
��������9.2.1��ͻ׃���|(zh��)pn�Y(ji��)�������늉����ԣ�7��17�� 247
��������9.2.2�����|(zh��)pn�Y(ji��)��ע�����ԣ�17�� 250
����9.3���댧(d��o)�w���|(zh��)�Y(ji��)������Y(ji��)��(g��u)��������ܑB(t��i)�c����252
��������9.3.1���댧(d��o)�w�{(di��o)�Ɠ��s���|(zh��)�Y(ji��)��(g��u)����������252
��������9.3.2���p���|(zh��)�Y(ji��)�g��������Y(ji��)��(g��u)254
��������9.3.3���p�݉���������Y(ji��)��(g��u)����������Ч��(y��ng)��23�� 258
������9.4���댧(d��o)�w��(y��ng)׃���|(zh��)�Y(ji��)��(g��u)259
����������9.4.1����(y��ng)׃���|(zh��)�Y(ji��)260
����������9.4.2����(y��ng)׃���|(zh��)�Y(ji��)��(g��u)�Б�(y��ng)׃�Ӳ������ĸ���261
������
�댧(d��o)�w����W(xu��)(��8��) ���ߺ���
��������������ͨ��W(xu��)����?p��ʿ����(d��o)����һֱ���½̌W(xu��)�����й��������������v���^��ͨ����W(xu��)��ԭ������W(xu��)�����w����W(xu��)���댧(d��o)�w����W(xu��)���댧(d��o)�w�����c�������댧(d��o)�w������ˇ���댧(d��o)�w�����c��ˇ��������Tʿ���v���^̫�늳��������댧(d��o)�w���ɹ�W(xu��)������ʿ���v���^�댧(d��o)�w����ӌW(xu��)�⼯�ɵ��n����
- >
��������~
- >
����?gu��)����x��Ѹ:����Ϧʰ
- >
���������~����Փ/���С��
- >
�_ӹ����(li��n)�����n�
- >
��(j��ng)�䳣Մ
- >
Ԋ��(j��ng)-����ĸ質
- >
�ؑ��۬��z
- >
������